spp住友潔凈臭氧發(fā)生器 FPD GRC系列 GRC-RXA / GRC-RG

更新時(shí)間：2023-12-21

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產(chǎn)品介紹

潔凈臭氧發(fā)生器

住友的臭氧發(fā)生器采用板放電方式，利用電能將部分原料氣體轉(zhuǎn)化為臭氧。
采用高純度陶瓷放電表面來(lái)產(chǎn)生清潔的臭氧氣體，最大限度地減少顆粒和金屬污染的產(chǎn)生。作為排放方式，我們實(shí)現(xiàn)了業(yè)界領(lǐng)的先的臭氧濃度400g/m ^{3 (N)。}
此外，我們還使用我們獨(dú)的特的技術(shù)來(lái)處理無(wú)氮臭氧發(fā)生器，以防止金屬污染。
被眾多客戶在半導(dǎo)體、液晶等制造過(guò)程中的干法和濕法工藝中使用，并獲得了好評(píng)。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體
各種晶圓
FPD（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
引的領(lǐng)
其他電子器件材料的干法和濕法工藝

GRC系列這是一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)系列，最大濃度為400g/m 3 (N)。
規(guī)格
臭氧流量1L/min～24L/min
[210g/m 3 (N)]
臭氧供給壓力最大0.2MPa
冷卻水溫度20℃±2℃
氮添加率氧氣流量的0.1%
外形尺寸寬483毫米×深453毫米×高266毫米
重量30～45公斤
電源AC200V 3相
特征
產(chǎn)生400g/m 3 (N)的高濃度臭氧
可安裝在19英寸機(jī)架上的單元類型
從小流量到大流量的豐富產(chǎn)品陣容
高可靠性放電電池，耐壓高，壽命長(zhǎng)
快速上升和出色的濃度響應(yīng)
通過(guò)連接臭氧濃度計(jì)（反饋控制）實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的濃度穩(wěn)定性
CE/NRTL認(rèn)證，符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
燃?xì)夤艿揽蛇x用氟樹(shù)脂和SUS鋼。


 

規(guī)格
臭氧流量	1L/min～24L/min [210g/m ³ (N)]
臭氧供給壓力	最大0.2MPa
冷卻水溫度	20℃±2℃
氮添加率	氧氣流量的0.1%
外形尺寸	寬483毫米×深453毫米×高266毫米
重量	30～45公斤
電源	AC200V 3相

特征
產(chǎn)生400g/m ³ (N)的高濃度臭氧
可安裝在19英寸機(jī)架上的單元類型
從小流量到大流量的豐富產(chǎn)品陣容
高可靠性放電電池，耐壓高，壽命長(zhǎng)
快速上升和出色的濃度響應(yīng)
通過(guò)連接臭氧濃度計(jì)（反饋控制）實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的濃度穩(wěn)定性
CE/NRTL認(rèn)證，符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
燃?xì)夤艿揽蛇x用氟樹(shù)脂和SUS鋼。