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超高壓高純度 氣體過(guò)濾器 聚四氟乙烯氣體過(guò)濾器 ST-A系列

更新時(shí)間:2024-02-23      瀏覽次數(shù):309


ST-A系列

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特征

  • 超高純度在線氣體過(guò)濾器

  • 全氟聚合物濾芯

  • 電解拋光 316L 不銹鋼外殼

  • PTFE 元件具有卓的越的耐腐蝕性,并且對(duì)大多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性

  • 3 納米粒子過(guò)濾能力以最小的壓降保持高流動(dòng)效率

  • 5Ra 電拋光表面可防止內(nèi)部污染

  • 去離子水清洗后用熱氮?dú)夂婵?,滿足半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)

  • 100級(jí)制造、清潔和包裝環(huán)境

  • 100% 氦氣泄漏測(cè)試

購(gòu)信息

  • S材料
  •  

  • TA產(chǎn)品系列
  •  

  • 50額定流量(SLPM)
  •  

  • 4連接尺寸
  •  

  • 虛擬機(jī)連接類(lèi)型
材料產(chǎn)品系列額定流量(SLPM)連接尺寸連接類(lèi)型
D316L不銹鋼重熔TA產(chǎn)品系列5050 每分鐘41/4"SW樂(lè)型
S316L不銹鋼--100100 每分鐘63/8"虛擬機(jī)MFS男型
----150150 每分鐘81/2"--


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