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napson探頭測量儀 電阻計 熱電阻 電阻測量機WS-3000的介紹
可安裝 4 種探頭的探頭更換機構無需為每個測量樣品更換探頭。
通過雙模式高精度測量高達 1mm 的邊緣
高速測量帶來的成本優(yōu)勢
FOUP 裝載口，兼容 GEM/SECS
產(chǎn)品型號：WS-3000廠商性質：經(jīng)銷商更新時間：2023-04-15訪 問 量：549
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napson探頭測量儀 電阻計 熱電阻 電阻測量機WS-3000的介紹
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可安裝 4 種探頭的探頭更換機構無需為每個測量樣品更換探頭。
通過雙模式高精度測量高達 1mm 的邊緣
高速測量帶來的成本優(yōu)勢
FOUP 裝載口，兼容 GEM/SECS
半導體及太陽能電池材料（硅、多晶硅、SiC等）
導電薄膜相關（金屬、ITO等）
擴散樣品
硅基外延、離子注入樣品
其他（*請聯(lián)系我們）
12英寸
（選項；200mm組合使用）
[薄層電阻] 1m 至 10MΩ/sq
4探針半自動玻璃基板薄膜測量儀
XY軸機構臺
面內多點測量，均勻間距或隨機間距設置選擇，配備2-D/3-D繪圖軟件
半導體及太陽能電池材料（硅、多晶硅、SiC等）
新材料/功能材料（碳納米管、DLC、石墨烯、銀納米線等）
導電薄膜相關（金屬、ITO等）
擴散樣品硅基薄膜（LTPS等）、IGZO
硅基外延、離子注入樣品
化合物半導體（GaAs、Epi、GaN、Epi、InP、Ga等）
其他（*請聯(lián)系我們）
最大300×300mm（可選；最大500×500mm）
[電阻率（比電阻）] 1 m 至 200 Ω cm
[薄層電阻] 1 m 至 1,000 k Ω/sq（選項；高達 10 M Ω/sq
具有大電阻測量范圍的 4 探頭測量儀
用于圓形/方形測量的測量模式可編程和映射軟件
自檢功能、厚度/周邊位置/溫度校正功能（針對硅）
根據(jù)電阻范圍從 2 種類型的測試儀中選擇
(RT-3000(S)：寬測量范圍，RT-3000(H)：高電阻測量范圍)
半導體及太陽能電池材料（硅、多晶硅、SiC等）
新材料/功能材料（碳納米管、DLC、石墨烯、銀納米線等）
導電薄膜相關（金屬、ITO等）
擴散樣品
硅薄膜（LTPS等）、IGZO
硅基外延、離子注入樣品
其他（*請聯(lián)系我們）
~8 英寸或 ~156x156mm
?選項（用于大直徑尺寸：型號 RG-3000）：最大 12 英寸，最大 210 x 210 毫米
①RT-3000(S);
[電阻率(電阻率)] 100μ~1MΩ?cm
[方塊電阻] 1m~10MΩ/sq
②RT-3000(H);
[方塊電阻] 10m~1GΩ/sq
4探針半自動玻璃基板薄膜測量儀
XY軸機構臺
面內多點測量，均勻間距或隨機間距設置選擇，配備2-D/3-D繪圖軟件
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